En esta obra se presenta una introducción a los Circuitos Integrados, enfocándose posteriormente en los fundamentos del análisis de algunos dispositivos MEMS representativos, abordando con detalle la metodología de diseño de la viga en voladizo, el actuador chevrón y el acelerómetro, así como de un resonador y un microgenerador piezoeléctrico. Se presentan también los principios básicos de fabricación y se muestra el potencial de uso del grafeno. Además, se presentan los principios básicos y ejemplos de la simulación por elemento finito en Ansys, ya que, tanto el modelado teórico, como numérico y la fabricación constituyen temas indispensables para quienes tengan el interés de iniciar o consolidar su conocimiento en este interesante e innovador tema. introducción a los circuitos integrados, enfocándose posteriormente en los fundamentos del análisis de algunos dispositivos MEMS representativos, abordando con detalle la metodología de diseño de la viga en voladizo, el actuador chevrón y el acelerómetro, así como de un resonador y un microgenerador piezoeléctrico. Se presentan también los principios básicos de fabricación y se muestra el potencial de uso del grafeno. Además, se presentan los principios básicos y ejemplos de la simulación por elemento finito en Ansys®, ya que, tanto el modelado teórico, como numérico y la fabricación constituyen temas indispensables para quienes tengan el interés de iniciar o consolidar su conocimiento en este interesante e innovador tema.
págs. 73-110
págs. 111-127
págs. 128-142
págs. 143-164
págs. 165-183
págs. 184-215
Microgeneradores de energía eléctrica basados en vibraciones
Agustín Leobardo Herrara May, Pedro Javier García Ramírez, Ernesto Alberto Elvira Hernández
págs. 216-236
págs. 237-267
págs. 268-301
págs. 302-319
págs. 320-331
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