Aplicaciones del grafeno en los MEMS

• Rafael Vargas Bernal ^[1]
  1. [1] Instituto Tecnológico Superior de Irapuato

     Instituto Tecnológico Superior de Irapuato

     México

     
• Localización: Introducción al análisis y diseño de MEMS / coord. por Margarita Tecpoyotl Torres, 2023, ISBN 978-607-8784-92-9, págs. 268-301
• Idioma: español
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• Resumen

  • El grafeno es un material bidimensional que ha atraído grandes intereses de investigación en recientes años para varias aplicaciones potenciales usando sus propiedades mecánicas, eléctricas, ópticas y químicas únicas [1]. Específicamente, la razón superficie a volumen grande, el grafeno es útil para las aplicaciones de sensado y actuación en dispositivos basados en sistemas microelectromecánicos (MEMS) y sistemas nanoelectromecánicos (NEMS). Ejemplos de grafeno en aplicaciones MEMS o NEMS son componentes electrónicos, sensores de masa o gas, supercapacitores, y otros gracias a los procesos de integración efectivos basados en la industria microelectrónica convencional. La fuerza impulsora clave de la tecnología en MEMS es la utilización de los procesos de fabricación de arriba hacia abajo (top-down) en microelectrónica para producir componentes mecánicos y no-eléctricos diminutos como los elementos de sensado y actuación con microelectrónica acoplada o integrada para convertir las respuestas de detección mecánicas, químicas, biológicas o de otro tipo a señales eléctricas para una variedad de aplicaciones. Hoy, el diseño de sistemas microelectromecánicos (MEMS) es considerado como un campo bien establecido con infraestructuras de manufactura buenas debido a que muchos productos y dispositivos comerciales emergentes están continuamente siendo explorados y desarrollados.