Análisis modal y termoeléctrico-estructural de un resonador

• Herrara May, Agustín Leobardo ^[1] ; Pedro Javier García Ramírez ^[1]
  1. [1] Universidad Veracruzana

     Universidad Veracruzana

     México

     
• Localización: Introducción al análisis y diseño de MEMS / coord. por Margarita Tecpoyotl Torres, 2023, ISBN 978-607-8784-92-9, págs. 143-164
• Idioma: español
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• Resumen

  • El análisis modal de la estructura de un sensor MEMS se utiliza para determinar sus frecuencias naturales y modos de vibración. Las frecuencias de resonancia y modos de vibración de un sensor MEMS son parámetros importantes en el diseño de su estructura para operar de forma segura ante cargas dinámicas. Los resultados del análisis modal de un sensor pueden utilizarse para un análisis dinámico en estado estacionario o transitorio, o un análisis de espectro. Además, el análisis modal puede incluir estructuras de sensores con esfuerzos residuales generados durante su proceso de fabricación. El análisis modal de un sensor puede realizarse usando modelos del método de elementos finitos (MEFs) con el software ANSYS® Workbench. En el análisis modal, el usuario puede elegir entre los siguientes mé todos de extracción de modos: Supernode Method, Block Lanczos, PCG Lanczos, Unsymmetric Method, Subspace Method, Damped Method, QR Damped Method, Shifting, Repeated Eigenvalues, Complex Eigensolutions. Ambos, Damped Method y QR Damped Method consideran el amortiguamiento del sensor MEMS.