Anexo B. Conceptos básicos de Mecánica

• Margarita Tecpoyotl Torres ^[1] ; Pedro Vargas Chablé ^[1]
  1. [1] Universidad Autónoma del Estado de Morelos

     Universidad Autónoma del Estado de Morelos

     México

     
• Localización: Introducción al análisis y diseño de MEMS / coord. por Margarita Tecpoyotl Torres, 2023, ISBN 978-607-8784-92-9, págs. 320-331
• Idioma: español
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• Resumen

  • El diagrama de un soporte fijo se muestra en la figura B.2. Estos soportes pueden resistir movimiento vertical, movimiento horizontal, y momento. En los MEMS, las anclas mecánicas fungen como soportes fijos. Si se diseñan para funcionar además, como electrodos, se denominan anclas eléctricas. Puede haber alejamientos entre el desempeño mostrado en la simulación, con relación al experimental, ya que, las anclas fabricadas pueden moverse, estirarse o flexionarse ligeramente.