Chevrón

• Margarita Tecpoyotl Torres ^[1] ; Pedro Vargas Chablé ^[1]
  1. [1] Universidad Autónoma del Estado de Morelos

     Universidad Autónoma del Estado de Morelos

     México

     
• Localización: Introducción al análisis y diseño de MEMS / coord. por Margarita Tecpoyotl Torres, 2023, ISBN 978-607-8784-92-9, págs. 165-183
• Idioma: español
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• Resumen

  • La actuación electrotérmica consiste en la expansión térmica de los brazos de sujeción, debido al Efecto de Joule, en presencia de corriente eléctrica. El calentamiento se logra cuando la corriente pasa a través de las vigas causando calentamiento resistivo. Ha sido demostrado que los actuadores electrotérmicos operan con bajos voltajes de alimentación [1]. Estos dispositivos son compactos, estables y de alta fuerza (del orden de mN) [2,3]; generalmente, el desplazamiento en la flecha de un microactuador en forma de V o chevrón es del orden de unos pocos μm [2]. Existen posibles limitaciones para actuadores en forma de V. Una de ellas proviene del ángulo de las vigas inclinadas, ya que en muchas ocasiones los ángulos son menores a 5°. Por otro lado, se plantean otros desafíos para su fabricación, pues se requieren pequeñas características con superf icies lisas en las paredes laterales que se deterioran a medida que se acerca el ancho de las vigas a la resolución de la fotolitografía (típicamente ∼2 μm). Otra limitación se debe a la gran rigidez de la forma de V actuador (del orden de miles de N m–1). Como resultado, los actuadores en forma de V no pueden utilizarse como sensores de carga y actuadores simultáneamente