Periodo de publicación recogido
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Hardening silicon-on-insulator nMOSFETs by multiple-step Si+ implantation
Huixiang Huang, YanYang Huang, Jianchun Cheng, Sufen Wei, Kai Tang, Dawei Bi, Zhengxuan Zhang
Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Nº. 57, 2016, págs. 1-9
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