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Desarrollo de mejoras de la técnica c-afm para la caracterización de dieléctricos en la nanoescala: aplicación en stacks de puerta de dispositivos mos basados en hafnio
Lídia Aguilera Martínez
Tesis doctoral dirigida por Marc Porti i Pujal (dir. tes.), Montserrat Nafria i Maqueda (dir. tes.). Universitat Autònoma de Barcelona (2011).
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