A. Khaled

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  • Study of GHz-SAM sensitivity to delamination in BEOL layers

    A. Khaled, Luka Ključar, S. Brand, M. Kögel, R. Aertgeerts, R. Nicasy, I. De Wolf

    Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Nº. 76-77, 2017, págs. 238-242

    • Resumen
    

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