Periodo de publicación recogido
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Gate-Extension Overlap Control by Sb Tilt Implantation
K. Shibahara, N. Maeda
IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 90, Nº 5, 2007, págs. 973-977
Ultra-Shallow Junction Formation with Antimony Implantation
K. Shibahara
IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 85, Nº 5, 2002, págs. 1091-1097
M. Tsuno, S. Yokoyama, K. Shibahara
IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 81, Nº 12, 1998, págs. 1913-1917
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