Caracterización de la rugosidad de capas delgadas de SiO₂ a partir de un modelo local de crecimiento

• J. Suñe ^[1] ; I. Placencia ^[1] ; F. Campabadal ^[1] ; X. Aymerich ^[1]
  1. [1] Universitat Autònoma de Barcelona
• Localización: XXI Reunión bienal de la Real Sociedad española de Física: programa, Salamanca 4 al 10 de octubre, 1987 / Real Sociedad Española de Física (aut.), 1987, págs. 37-38
• Idioma: español
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