Automatic Defect Pattern Detection on LSI Wafers Using Image Processing Techniques

• Autores: M. Ichikawa, T. Ohmi, K. Maruo, T. Shibata, T. Yamaguchi
• Localización: IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 82, Nº 6, 1999, págs. 1003-1012
• Idioma: inglés
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