Electrostatic discharge failure analysis of capacitive RF MEMS switches.

• Autores: J. Ruan, N. Nolhier, Marise Bafleur, L. Bary, F. Coccetti, T. Lisec, R. Plana
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 47, Nº. 9-11, 2007, págs. 1818-1822
• Idioma: inglés
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