Advanced backside failure analysis in 65 nm CMOS technology.

• Autores: S. Bianic, S. Allemand, G. Kerrosa, P. Scafidi, D. Renard
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 47, Nº. 9-11, 2007, págs. 1550-1554
• Idioma: inglés
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