Resumen de Crecimiento de películas de platino sobre titanio mediante pulverización catódica con magnetron DC
Norma Hoyos, Rafael Bolívar, J. E. Alfonso
En este trabajo se presentan los resultados obtenidos en el crecimiento de películas de Pt , con espesores entre 5 y 9 µm, sobre titanio, usando la técnica de pulverización catódica con magnetrón dc. Las condiciones de depósito en las que se obtuvieron las películas fueron: Presión final de trabajo 5x10 -2 mbar, distancia blanco sustrato 5 cm , flujo de Ar 20 sccm, tiempos de depósito de 30 minutos y se varió la potencia entre 50 y 200W. Las películas de Pt se caracterizaron mediante las técnicas de espectroscopia dispersiva de rayos X (EDX), difracción de rayos X (DRX) y se les evaluó la adherencia mediante el método Daimler Benz.
