Crecimiento de películas de platino sobre titanio mediante pulverización catódica con magnetron DC

• Autores: Norma Hoyos, Rafael Bolívar, J. E. Alfonso
• Localización: Revista de la Sociedad Colombiana de Física, ISSN-e 0120-2650, Vol. 38, Nº. 4, 2006, págs. 1519-1522
• Idioma: español
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• Resumen

  • En este trabajo se presentan los resultados obtenidos en el crecimiento de películas de Pt , con espesores entre 5 y 9 µm, sobre titanio, usando la técnica de pulverización catódica con magnetrón dc. Las condiciones de depósito en las que se obtuvieron las películas fueron: Presión final de trabajo 5x10 -2 mbar, distancia blanco sustrato 5 cm , flujo de Ar 20 sccm, tiempos de depósito de 30 minutos y se varió la potencia entre 50 y 200W. Las películas de Pt se caracterizaron mediante las técnicas de espectroscopia dispersiva de rayos X (EDX), difracción de rayos X (DRX) y se les evaluó la adherencia mediante el método Daimler Benz.