Second derivative Langmuir probe diagnostics of Ar/O~2 gas discharge for DC YBCO-124 sputtering

• Autores: N. A. Stelmashenko, T. K. Popov, V. N. Tsaneva
• Localización: Plasma sources: science & technology, ISSN 0963-0252, Nº. 1, 2005, págs. 184-190
• Idioma: inglés
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