Sources and sinks of CF and CF~2 in a cc-RF CF~4-plasma under various conditions

• Autores: U. Czarnetzki, A. Francis, P. Fendel
• Localización: Plasma sources: science & technology, ISSN 0963-0252, Nº. 1, 2005, págs. 1-11
• Idioma: inglés
• Texto completo no disponible (Saber más ...)