Nueva tecnología litográfica de bajo coste basada en micro-erosión por arco compatible con el procesado sobre gran área de dispositivos orgánicos flexibles

• Autores: Juan Jiménez Trillo
• Directores de la Tesis: María del Carmen Coya Párraga (dir. tes.), Ángel Luis Álvarez Castillo (dir. tes.)
• Lectura: En la Universidad Rey Juan Carlos ( España ) en 2011
• Idioma: español
• Tribunal Calificador de la Tesis: Asunción de Andrés Miguel (presid.), Susana Fernandez de Avila Lopez (secret.), Javier Martínez Rodrigo (voc.), Carlos Gonzalez Bris (voc.), José Luis Pau Vizcaino (voc.)
• Materias:
  • Física
    • Electrónica
• Enlaces
  • Tesis en acceso abierto en: hdl.handle.net
• Resumen

  • En este trabajo se explota la posibilidad de generar micro-arcos voltaicos entre una punta y una lámina delgada de material electroconductor para realizar litografía de precisión sin el uso de máscaras ni fotoresinas . Para ello se construye un prototipo experimental de posicionador de precisión XYZ, controlado vía PC mediante un software de matriz de puntos. Se solventa el problema del realineamiento de muestras mediante un programa adicional que trabaja en 2º plano y que permite reinterpretar los diseños sin modificar las posición de la muestra. Se estudia el fenómeno y calidad de la electro-erosión en materiales como óxido de indio-estaño (ITO) y aleciones metálicas: Au/Cr, Al, etc. Y se demuestra la posibilidad de litografiar capas apiladas con tal que la tensión de trabajo de las capas superiores sea inferior a la de las capas por debajo. Como colofón, se fabrica una matriz pasiva de dispositivos OLED de 6x6 píxeles sin fotolitografía y se dan pautas para la fabricación de transostores orgánicos.