Nanolitografía de oxidación local en paralelo instrumento, cinética y nanofabricación

• Autores: Nuria Sánchez Losilla
• Directores de la Tesis: Javier Martínez (dir. tes.)
• Lectura: En la Universidad Autónoma de Madrid ( España ) en 2010
• Idioma: español
• Tribunal Calificador de la Tesis: Concepción Rovira Angulo (presid.), Eduardo Elizalde Pérez-Grueso (secret.), Adriana Gil Gil (voc.), David Mecerreyes Molero (voc.), Francisco Javier Piqueras de Noriega (voc.), Marta Tello Ruiz (voc.), Montserrat Calleja Gómez (voc.)
• Materias:
  • Física
• Texto completo no disponible (Saber más ...)
• Resumen

  • Nanolitografía de oxidación local en paralelo: Instrumento, cinética y nanofabricación