Síntesis de nitruro de boro y compuestos ternarios del tipo b-n-x (con X=Si, C) por técnicas de cvd

• Autores: Abdelhadi Essafti
• Directores de la Tesis: Cristina Gómez-Aleixandre Fernández (dir. tes.)
• Lectura: En la Universidad Autónoma de Madrid ( España ) en 1996
• Idioma: español
• Tribunal Calificador de la Tesis: José Ramón Masaguer Fernández (presid.), Carlos Palacio Orcajo (secret.), José Luis García Fierro (voc.), José Luis Andújar Bella (voc.), Alberto Figueras Dagá (voc.)
• Materias:
  • Física
    • Física del estado sólido
      • Superficies
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• Resumen

  • En la memoria del trabajo se describe el desarrollo de la tecnica experimental para la deposicion de peliculas delgadas de nitruro de boro (b-n) y de compuestos ternarios del tipo b-n-si y b-n-c, por activacion termica de mezclas gaseosas a baja presion (cvd), asi como la caracterizacion estructural y la composicion de las peliculas. En particular , se ha estudiado el efecto de las condiciones experimentales tales como la presion total la temperatura de deposicion y la relacion de flujos en la composicion, estructura y propiedades opticas y mecanicas de las peliculas. A partir del analisis de los resultados obtenidos sobre el efecto de la relacion de flujos diborano/amoniaco en la velocidad de deposicion de nitruro de boro se ha estudiado la cinetica de la reaccion de diborano con amoniaco, relacionando los parametros de deposicion con los posibles compuestos intermedios que dan lugar finalmente a la formacion del nitruro de boro. Ademas se ha hecho un especial esfuerzo en el estudio de la estabilidad de atmosferas humedas de las peliculas de nitruro de boro, que se asocia particularmente a una mayor contribucion de la fase amorfa respecto a la estructura turbostratica (t-bn), que puede estar presente. Se concluye que el exceso de amoniaco en la mezcla gaseosa produce la fase turbostratica inestable en agua, y la adición de silano a la mezcla gaseosa (diborano+amoniaco) produce cambios importantes en el proceso de deposicion. Por otra parte, la incorporación del silicio a la red de nitruro de boro mejora la estabilidad, y propiedades mecanicas y la resistencia al ataque quimico en solucion liquida, del material resultante (b-n-si).Ð por ultimo se ha investigado la reaccion de formacion del compuesto ternario b-n-c a partir de mezclas de diborano y metilamina.