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Resumen de Procesos de avalancha y ruptura dieléctrica durante la oxidación anódica del Tantalio

Isabel Montero Herrero

  • El objetivo de este trabajo ha sido el estudio de la formacion propiedades y ruptura dielectrica de las peliculas de ta sub 2 o sub 5 formadas sobre la lamina de tantalio utilizando como electrolito disoluciones de diferentes acidos. El electrolito y la densidad de corriente de la anodizacion desempeñan un papel fundamental durante la oxidacion lo cual es debido fundamentalmente a la incorporacion del electrolito en la pelicula anodica. La curvatura detectada en los resultados experimentales de la velocidad de anodizacion en funcion del voltaje ha sido explicada a traves de un modelo simple de avalancha electronica durante la anodizacion la cual crece exponencialmente a lo largo del espesor del oxido en un proceso de multiplicacion por impacto.


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