Geometría convencional y geometría fractal en muestras microfabricadas un estudio mediante microscopía de efecto túnel
- Autores: José María Gómez Rodriguez
- Directores de la Tesis: Arturo M. Baró (dir. tes.)
- Lectura: En la Universidad Autónoma de Madrid ( España ) en 1992
- Idioma: español
- Tribunal Calificador de la Tesis: Sebastián Vieira Díaz (presid.), Carmen Ocal Garcia (secret.), Juan Piqueras (voc.), Enrique Louis Cereceda (voc.)
- Materias:
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- Resumen
Mediante un microscopio de efecto tunel (stm) combinado con un microscopio electronico de barrido (sem) se ha realizado un estudio cuantitativo de la rugosidad y de las propiedades geometricas y composicionales de superficies relacionadas con procesos de microfabricacion. Dos han sido los enfoques que se han considerado en este estudio: la geometria convencional o euclidea y la geometria fractal. La geometria euclidea ha guiado el analisis de dispositivos semiconductores con superficies de caracter suave: estructuras de gaas microfabricadas por litografia halografica, superredes de algaas/gaas crecidas por epitaxia de haces moleculares y nanodepositos metalicos sobre si fabricados con el stm y caracterizados topografica y espectroscopicamente. Por otra parte, se ha llevado a cabo un trabajo innovador en el campo de la caracterizacion fractal de superficies rugosas. Asi, se ha desarrollado por primera vez un metodo original que permite el estudio de comportamientos fractales en la topografia de muestras medidas con stm. Este metodo ha sido aplicado al analisis de peliculas delgadas de oro crecidas por evaporacion en vacio, demostrandose el caracter fractal auto-afin de estas superficies. La comparacion con modelos teoricos de crecimiento y simulaciones por ordenador ha permitido obtener la primera verificacion experimental a nivel sub-micrometrico de formalismo de escalado dinamico.
