Caracterización óptica, química y estructural de láminas delgadas de ZrO2 y CeO2 efecto del bombardeo con iones de baja energía

• Autores: Juan Francisco Trigo Escalera
• Directores de la Tesis: María José Martínez-Alesón Sanz (dir. tes.)
• Lectura: En la Universidad Autónoma de Madrid ( España ) en 1998
• Idioma: español
• Tribunal Calificador de la Tesis: Fernando Rueda Sánchez (presid.), Eduardo Elizalde Pérez-Grueso (secret.), Carlos Andrés Prieto de Castro (voc.), Ignacio Martil De la Plaza (voc.), Emilio José Márquez Navarro (voc.)
• Materias:
  • Física
    • Óptica
      • Propiedades ópticas de los sólidos
    • Física del estado sólido
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• Resumen

  • Las láminas delgadas de ZrO sub 2 y CeO sub 2 se han depositado mediante un método por doble haz de iones donde el segundo haz de iones de baja energía (20-80 eV) incide directamente sobre la película en crecimiento. Se ha relacionado la composición, estructura y constantes ópticas de las láminas con las condiciones de deposición, especialmente con la energía y flujo del segundo haz de iones. Así mismo, se ha determinado la influencia en el comportamiento de ambos materiales de pequeñas cantidades de impurezas metálicas que se incorporan en las láminas de forma inherente al proceso de deposición.