Resumen de Estudio XPS de la oxidación de metales de transición (Zr, Hf, Re)
LOS OXIDOS SE CRECEN EN LAMINAS DELGADAS Y SE ANALIZAN POR XPS. EN EL PROCESO DE OXIDACION DEL ZR SE DETECTAN LOS ESTADOS DE OXIDACION: OXIDO (ZR4+) Y LOS SUBOXIDOS (ZR3+, ZR2+, ZR+) QUE PERMANECEN EN LA INTERFAZ ZRO2/ZR.
EL CRECIMIENTO DE ESTE OXIDO SIGUE UNA CINETICA LOGARITMICA. EN EL ESTUDIO DE LA REDUCCION DE LOS OXIDOS DE ZR POR BOMBARDEO DE IONES AR+ SE OBTIENE UN SPUTTERING PREFERENCIAL DE OXIGENO, APARECEN TODOS LOS ESTADOS DE OXIDACION DEL ZR Y UNA DENSIDAD DE ESTADOS A 1.9 EV DEL NIVEL DE FERMI QUE AUMENTA LA POLARIZABILIDAD.
LA OXIDACION DEL HF A TEMPERATURA AMBIENTE Y BAJAS PRESIONES ES SIMILAR A LA DEL ZR. A ALTAS TEMPERATURAS Y ALTAS PRESIONES DE OXIGENO NO SE DETECTA UNA REGION DE SATURACION Y A BAJAS PRESIONES DE OXIGENO, EL CRECIMIENTO DEL OXIDO QUEDA LIMITADO POR LA CORRIENTE DE DIFUSION. LA CINETICA DE DISOLUCION DEL OXIGENO EN EL HF ES PARABOLICA, DISOLUCION CONTROLADA POR LA DIFUSION CON UNA ENERGIA DE ACTIVACION DE 1.32 EV.
EN LA OXIDACION TERMICA DEL RE Y POR IMPLANTACION DE IONES OXIGENO SE OBTIENE: RE METAL, RE METALICO CON OXIGENO DISUELTO Y RE EN EL SUBOXIDO REO.
LA CINETICA DE DISOLUCION DE OXIGENO EN EL METAL NO DEPENDE DE LA TEMPERATURA, MIENTRAS QUE LA FORMACION DEL SUBOXIDO DEPENDE DE FORMA POTENCIAL CON LA TEMPERATURA.
ESTADOS DE OXIDACION SUPERIORES SE CONSIGUEN CON LA OXIDACION DEL RE CATALIZADA POR EL CS. SE CARACTERIZAN POR XPS LOS OXIDOS DE CS Y SUS BANDAS DE VALENCIA.
SE REALIZARON ESTUDIOS XPS, XAES Y MICROSCOPIA SEM/EDX EN LA EVAPORACION DEL RE SOBRE ZRO2 QUE PERMITEN DISTINGUIR LOS EFECTOS DE ESTADO INICIAL Y FINAL Y EL MODELO DE CRECIMIENTO (VOLMER WEBER).
