Integrated microsensors for microsystems with applications in biomedicine and environmental control
- Autores: Ludwig Gotz Andreas
- Directores de la Tesis: Carles Cané Ballart (dir. tes.)
- Lectura: En la Universitat Autònoma de Barcelona ( España ) en 1998
- Idioma: inglés
- Tribunal Calificador de la Tesis: Francisco Serra Mestres (presid.), Jaume Esteve Tintó (secret.), Ramon Alcubilla González (voc.), Josep Samitier Martí (voc.), Javier Gutierrez Monreal (voc.)
- Materias:
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- Resumen
En la tesis presentada se han desarrollado tecnologías para la fabricación de sensores de presión e ISFET integrados monolíticamente con circuitería CMOS por un lado y para sensores de gas de tipo resistivo por otro.
En el caso de los sensores de gas se ha encontrado un diseño óptimo para obtener un bajo consumo con la ayuda de estructuras de test y simulaciones numéricas. Se ha desarrollado un proceso de fabricación y se han fabricado dispositivos con una buena sensibilidad y un bajo consumo.
Se han integrado monolíticamente sensores de presión en circuitería CMOS. Los problemas de compatibilización se han identificado y solucionado. Igualmente se han integrado sensores ISFET con circuitería CMOS. La experiencia adquirida se ha utilizado para el desarrollo y la fabricación de un chip CMOS con sensores de presión ISFET y de temperatura. Además, este chip se ha adapatado a las restricciones impuestas por un microsistema multichip para aplicaciones biomédicas.
