Resumen de Desarrollo de sensores de campo magnetico y dispositivos pasivos de radio frecuencia con tecnologias de silicio
Esta tesis presenta dos temas diferenciados. Por un lado se han desarrollado técnicas de compatibilización de sensores magnéticos sobre una tecnología microelectrónica de silicio estándard CHOS. Se presenta también un nuevo dispositivo en tecnología SOI-SIMOX de capa delgada que ofrece buenas características como sensor magnético, bajo consumo y excelentes propiedades térmicas.
Por otra parte se ha realizado el estudio de viabilidad de la integración de dispositivos de radio frecuencia planares sobre una tecnología multimetal MCM-D, así como la simulación de los mismos. Los resultados obtenidos permiten afirmar que esta tecnología combinada con el micromecanizado del substrato son aptas para la implementación de aplicaciones de RF.
