Resumen de Fabricación de nanodispositivos de materiales bidimensionales mediante la nanolitografía de oxidación local
En esta tesis se desarrolla una metodología para fabricar nanodispositivos basados en materiales bidimensionales mediante la técnica de nanolitografía de oxidación local.
En la primera parte de la tesis se estudia la estructura de los óxidos fabricados, así como la reproducibilidad y los límites de resolución de la nanolitografía de oxidación local en estos materiales.
En la segunda parte se implementa la metodología desarrollada en el proceso de fabricación de diferentes tipos de nanodispositivos basados en grafeno y dicalcogenuros de metales de transición.
