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Caracterizacion por microscopia electronica de transmision de heteroestructuras ingaas/inalas crecidas por epitaxia de haces moleculares sobre substratos de inp

  • Autores: Francisca Peiró Martínez
  • Lectura: En la Universitat de Barcelona ( España ) en 1993
  • Idioma: español
  • Tribunal Calificador de la Tesis: Joan Ramon Morante Lleonart (presid.), Pere Roura i Grabulosa (secret.), Jesús A. del Álamo (voc.), Jordi Pascual Gainza (voc.)
  • Materias:
  • Texto completo no disponible (Saber más ...)
  • Resumen
    • LA FINALIDAD DE LA INVESTIGACION ES LA OPTIMIZACION DEL CRECIMIENTO DE ESTRUCTURAS INX GA1- XAS/INYA11-YAS/INP, PARA LA OBTENCION DE DISPOSITIVOS HEMT FUNCIONALES.

      PREVIAMENTE SE HA OPTIMIZADO LA PREPARACION DE MUESTRAS PARA SU OBSERVACION EN MICROSCOPIA ELECTRONICA DE TRANSMISION, EVITANDO LA NUCLEACION DE ISLAS DE IN Y HOMOGENEIZANDO LA VELOCIDAD DE ADELGAZAMIENTO ENTRE LAS ESTRUCTURAS Y EL INP. SE HA ESTABLECIDO QUE UN TRATAMIENTO TERMICO DEL INP A UNA TEMPERATURA DE TH=530 GRADOS C BAJO ATMOSFERA DE SOBREPRESION DE AS, ELIMINA COMPLETAMENTE EL OXIDO DE PASIVACION, PROPORCIONANDO UN FRENTE DE CRECIMIENTO PLANO. LA TEMPERATURA OPTIMA DE CRECIMIENTO DEL INO.52 ALO.48 HA RESULTADO DE 530 GRADOS C, CON MINIMAS DENSIDADES DE DEFECTOS Y UNA REDUCCION DE LOS CENTROS DE CAPTURA DE PORTADORES. HEMOS OBSERVADO QUE LAS LONGITUDES DE ONDA DE LAS MODULACIONES DE CONTRASTE OBSERVADAS EN TEM EN LAS CAPAS DE INGAAS, VARIAN CON LAS CONDICIONES DE CRECIMIENTO, CONSIDERANDO QUE LAS MODULACIONES GRUESA (MODULACION DE COMPOSICION) Y FINA (DISTRIBUCION INHOMOGENEA DE AGREGADOS RICOS EN GA O EN IN), RESPONDEN A UN MECANISMO DE AUTOESTABILIZACION (FAVORECIDO POR LA LIMITACION CINETICA DE LA TECNICA MBE), PARA EVITAR UNA TOTAL SEPARACION DE FASES EN INAS Y GAAS SI EL MATERIAL SE HA CRECIDO DENTRO DEL GAP DE MISCIBILIDAD. HEMOS DIFERENCIADO LOS MECANISMOS DE RELAJACION DE LOS ESFUERZOS EN CAPAS COMPOSICIONALMENTE HOMOGENEAS, SEGUN SEAN TENSADAS O COMPRIMIDAS. PARA LAS PRIMERAS HEMOS OBSERVADO NUCLEACION DE DISLOCACIONES EN EL ORDEN 90 GRADOS-60 GRADOS-30 GRADOS, CON UNA RECOMBINACION INMEDIATA 30 GRADOS + 90 GRADOS - 60 GRADOS. EN LAS SEGUNDAS, EL PROCESO DE RELAJACION RESPONDE A LA NUCLEACION DE DISLOCACIONES PERFECTAS, SEGUIDA DE UNA DISOCIACION 60 GRADOS - 90 GRADOS + 30 GRADOS, Y GOBERNADO POR LAS BARRERAS DE FRICCION QUE IMPIDEN LA RECOMBINACION DE LAS PARCIALES. FINALMENTE, PARA LAS CAPAS CON MODULACIONES DE COMPOSICION, HEMOS PROPUESTO UN MECA


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