Modelos teóricos de plasmas de argón y oxígeno usados en la deposición de láminas delgadas
- Autores: Alberto Palmero Acebedo
- Directores de la Tesis: José Cotrino Bautista (dir. tes.)
- Lectura: En la Universidad de Sevilla ( España ) en 2002
- Idioma: español
- Tribunal Calificador de la Tesis: Vicente Colomer Viadel (presid.), Luis Lemos Alves (secret.), José Javier Brey Abalo (voc.), Francisco Yubero Valencia (voc.), Agustín Rodríguez González-Elipe (voc.)
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- Tesis en acceso abierto en: Idus
- Resumen
En esta Tesis Doctoral se abordan diferentes aspectos teóricos de los plasmas utilizados en las técnicas de deposición de láminas delgadas asistidas por plasmas (PECVD). Los modelos teóricos que se realizan están orientados principalmente a la diagnosis del plasma a partir del conocimiento de datos experimentales, tales como la intensidad de una línea de emisión o una población (densidad electrónica).
En particular, * Se hace una introducción a los plasmas de onda de superficie que se utilizan en los dispositivos de deposición, comentando sus propiedades generales, así como los aspectos más relevantes a tener en cuenta al hacer una descripción teórica.
* Se discute la validez de un método de espectroscopía óptica de emisión para obtener la temperatura electrónica en un plasma de argón de onda de superficie producto por un surfatrón. Este método está basado en una descripción del plasma como dos fluídos aislados en equilibrio termodinámico local a diferentes temperaturas, y en la introducción de un factor de corrección que tiene en cuenta la ausencia de equilibrio en la radiación para un regimen de excitación saturación balance (ESB). Por último se obtienen los valores de la temperatura electrónica en diferentes casos de presión.
* Se realiza un modelo colisional-radiativo radial de una descarga de argón producida a baja presión, que permite obtener las poblaciones más importantes en la descarga (electrones, iones, población de argón en el estado fundamental y estados excitados), a partir del conocimiento de la presión del gas, geometría experimental, y la temperatura del reciento del plasma en su cara externa. También se estudia la importancia del calentamiento de las partículas pesadas en las propiedades del plasma, y se propone un método experimental para obtener la temperatura media de la descarga basado en la ley de poiseuille para un fluído viscoso en régimen laminar asimismo, s
