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Resumen de Preparación y caracterización de películas semiconductoras transparentes de in 203 obtenidas por pulverización catódica. Aplicación a células solares

José Luis Valdés Navarro

  • Se han preparado capas conductoras transparentes de in2o3 dopado con su por pulverizacion catodica reactiva y se han estudiado sus propiedades opticas y de transporte en funcion de las condiciones de preparacion (temperatura de deposicion y tension de catodo) observandose una notable mejora de la conductividad para tensiones de catodo elevadas (2500 voltios).


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