Resumen de Microsistema per a la mesura de flux i de concentració de gasos
En este trabajo se estudia, por un lado, la metodología de optimización de sensores de flujo de tipo térmico dirigida a una aplicación en calderas domésticas y por otro, el desarrollo de un chip multisensor en el cual el sensor de flujo se integra conjuntamente con una matriz de sensores de gases de tipo semiconductor. Existe una clara interrelación entre estos dos objetivos ya que la elección del desarrollo de un sensor de flujo de tipo térmico y no de cualquier otro tipo radica en sus claras ventajas a la hora de ser integrado con los sensores de gases.
Así pues, la tesis se presenta dividida en dos partes que corresponden a los objetivos citados. En la primera parte se determina la influencia de todos los parámetros de diseño del chip sensor de flujo y la cápsula sobre la respuesta del sensor. Este conocimiento permite llegar a la optimización de esta respuesta para una aplicación determinada. La segunda parte de la tesis se centra en el desarrollo del microsistema. En primer lugar se presenta una evaluación de la compatibilización de las tecnologías de fabricación de los diferentes sensores así como los pasos claves de la secuencia de fabricación del dispositivo multisensor. Una vez obtenido éste, se presentan los resultados concernientes a su encapsulado así como la caracterización de aspectos del multisensor relacionados con su operación como son el consumo y el tiempo de respuesta. Finalmente, a causa de la orientación industrial del proyecto en el cual se enmarca la realización de este desarrollo, se tratan cuestiones relacionadas con la fiabilidad del chip multisensor.
