Resumen de Fabrication and gas sensing properties of pure and au-functionalised W03 nanoneedle-like structures, synthesised via aerosol assisted chemical vapour deposition method
Toni Stoycheva
En esta tesis doctoral, se ha investigado y desarrollado un nuevo método de CVD asistido por aerosol (AACVD), que permite el crecimiento de nanoestructuras de WO3 intrínsecas y funcionalizadas con Au. Así mismo se han depositado capas policristalinas de SnO2 para aplicaciones de detección de gases. La síntesis de materiales nanoestructurados, la fabricación de dispositivos y sus propiedades de detección de gases, han sido estudiadas. El método AACVD fue utilizado para la síntesis y la deposición directa de capas activas encima de sustratos de alúmina y también sobre substratos micromecanizados (microhotplates), lo que demuestra la compatibilidad entre la tecnología de silicio y la deposición de la capas activas nanoestructuradas. En la tesis se ha demostrado que las capas nanoestructuradas de WO3 funcionalizadas con oro tienen una sensibilidad mejor que las intrínsecas frente a algunos gases relevantes y al mismo tiempo se ha producido un cambio de selectividad.
