Periodo de publicación recogido
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Defect assessment and leakage control in atomic layer deposited Al2O3 and HfO2 dielectrics
M.B Gonzalez, J.M. Rafí, O. Beldarrain, M. Zabala, F. Campabadal
Proceedings of the 2013 Spanish Conference on Electron Devices / Héctor García (aut.), Helena Castán Lanaspa (aut.), 2013, ISBN 9781467346665
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