Surface partition of ion energy during the growth of TiN<sub>x</sub> thin films
- Autores: Q. Zhang, Z.Q. Ma
- Localización: Solid state communications, ISSN 0038-1098, Vol. 132, Nº. 5, 2004, págs. 347-350
- Idioma: inglés
- Texto completo no disponible (Saber más ...)
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