Measurements of electron energy distribution functions and electron transport in the downstream region of an unbalanced dc magnetron discharge

• Autores: J.-H. In, S.-H. Seo, H.-Y. Chang
• Localización: Plasma sources: science & technology, ISSN 0963-0252, Nº. 3, 2004, págs. 409-419
• Idioma: inglés
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