Determination of gas temperature and C~2 absolute density in Ar/H~2/CH~4 microwave discharges used for nanocrystalline diamond deposition from the C~2 Mulliken system

• Autores: F. Mohasseb, F. Benedic, K. Hassouni, G. Lombardi
• Localización: Plasma sources: science & technology, ISSN 0963-0252, Nº. 3, 2004, págs. 375-386
• Idioma: inglés
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