Carbon nanotubes grown by plasma enhanced chemical vapor deposition of acetylene in the presence of water vapor

• Sancho-Tapia, Júlia ^[1] ; Bertran-Sierra, Enric ^[1] ; Ospina, Rogelio ^[2]
  1. [1] Universitat de Barcelona

     Universitat de Barcelona

     Barcelona, España

     
  2. [2] Universidad Industrial de Santander

     Universidad Industrial de Santander

     Colombia

     
• Localización: Revista UIS Ingenierías, ISSN-e 2145-8456, ISSN 1657-4583, Vol. 23, Nº. 1, 2024 (Ejemplar dedicado a: Revista UIS Ingenierías), págs. 39-46
• Idioma: inglés
• Títulos paralelos:
  • Nanotubos de carbono crecidos con técnicas de deposición química en fase vapor de acetileno asistido por plasma en presencia de vapor de agua
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• Resumen
  • español

    Los nanotubos de carbono pueden ser sintetizados utilizando diversas técnicas. Este trabajo tiene como objetivo estudiar el proceso experimental de crecimiento de nanotubos de carbono mediante deposición química en fase vapor asistida por plasma (PECVD, por sus siglas en inglés). Además, el estudio pretende calibrar el reactor y desarrollar un código en LabVIEW para introducir agua en el proceso, permitiendo así un procedimiento PECVD asistido por agua. Las muestras obtenidas son evaluadas a través del análisis de imágenes SEM y espectros Raman.

  • English

    Carbon nanotubes can be synthesized using various techniques. This work aims to study the experimental process of growing carbon nanotubes via plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD). Additionally, the study aims to calibrate the reactor and develop a LabVIEW code to introduce water into the process, enabling a water-assisted PECVD procedure. The obtained samples are evaluated through the analysis of SEM images and Raman spectra.