Resumen de Construcción de un microscopio perfilométrico por interferometría de luz blanca

Juan A. Sanchez Daza, Martha Lucía Molina Prado, Néstor. A. Arias Hernández

• español

  En este trabajo se presenta el diseño y construcción de un microscopio perfilométrico por interferometría de luz blanca, que permite el levantamiento topográfico de objetos con resolución nanométrica. Por medio de un escaneo axial del objeto, se adquiere un conjunto de imágenes con franjas interferométricas deformadas las cuales dan información de la rugosidad del objeto. El principio del sistema está basado en la localización del pico de coherencia en cada posición Im(i,j) del conjunto de m imágenes adquiridas, en donde la posición z(m) del pico de coherencia cambia de acuerdo a la topografía del objeto. Se presenta una serie de reconstrucciones tridimensionales de varios objetos a resolución nanométrica, obtenidas de manera automática con la ayuda de una interface gráfica elaborada en Matlab, que permite el control de los dispositivos, procesado digital de las imágenes y el cálculo de la topografía del objeto.

• English

  Design and construction of a perfilometric microscope by white light interferometry is presented. This perfilometric microscope allows the topographic lifting of objects with nanometric resolution. By means of an axial scanning of the object, a set of images isacquired. The set of images they are obtained using a system of deformed interferometric fringes, which give information of the roughness of the object. The principle of the system it is based on the location of the coherence peak in each position Im(i,j)of the set of m images, where the position z(m)of the coherence peak changes according to the topography of the object. As results, a series of three-dimensional reconstructions of several objects at nanometric resolution is presented, obtained automatically with the help of a graphical interface elaborated in Matlab, which allow images digital processing and control of the devices.