Study of mechanical properties of PVD ZrN films, deposited under positive and negative substrate bias conditions

• Autores: Cheng-Shi Chen, Heng-Ghieh Yang, C.-Y.A. Tsao, Chuan-Pu Liu
• Localización: Scripta materialia, ISSN 1359-6462, Vol. 51, Nº. 7, 2004, págs. 715-719
• Idioma: inglés
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