Resumen de 0-0Simulación FEM de µsistemas

José Antonio Plaza Plaza, Raquel Pérez Castillejos, Pere Losantos Viñolas, Miquel Vellvehí, Heiko Krassow, Andreas Götz, Ana Collado, Estrella F. González, Joaquin Santander Vallejo, Jaume Esteve Tintó

• El objetivo de este artículo es dar una idea general de la utilidad de los programas de métodos numéricos para el diseño de sistemas microelectromecánicos. Los sistemas microelectromecánicos son sensores o actuadores basados en la tecnología microelectrónica, tecnología desarrollada para la fabricación de chips. En muchos de estos dispositivos la electrostática o el magnetismo juegan un papel muy importante. Debido a la complejidad de estos dispositivos se hace necesaria la utilización de estas herramientas de cálculo para poder predecir con exactitud su funcionamiento.