Inductores integrados: perspectiva MEMS. Técnicas MEMS (y II)

• Autores: J.M. Quero, V. Simón
• Localización: Mundo electrónico, ISSN 0300-3787, Nº 354, 2004, págs. 44-49
• Idioma: español
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• Resumen

  • En la primera parte de este artículo se estudiaron los métodos convencionales de integración de inductores de RF. Se justificó el límite de sus prestaciones en tecnologías como la CMOS estándar o la SOI y se analizaron otras alternativas como los inductores activos y los híbridos. Esta segunda parte se dedica a las técnicas de integración MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) y se describen algunos ejemplos representativos.