Tratamiento de interferogramas holográficos axisimétricos para determinar los campos térmicos en un reactor de CVD

• H. Chehouani ^[1] ; S. Benet ^[1] ; B. Armas ^[1] ; C. Combescure ^[1]
  1. [1] Institut de Science et de Génie des Matériaux et Procédés CNRS
• Localización: Óptica pura y aplicada, ISSN-e 2171-8814, Vol. 25, Nº. 2, 1992, págs. 73-86
• Idioma: español
• Títulos paralelos:
  • Traitement d'interferogrammes holographiques axisymetrioues pour la determination des champs de temperature dans un reacteur CVD
• Enlaces
  • Texto completo (pdf)
• Resumen
  • español

    La interferometría holográfica ha sido empleada para determinar la cartografía de IOS campos térmicos en un reactor GVD. El objetivo de nuestro trabajo es la mejora de la información contenida en un interferograma axisimétrico. Por Otra parte, describimos el dispositivo de tratamiento de imágenes que ha Sido acoplado al interferómetro a fin de aumentar la precisi6n de la medida y la rapidez de la adquisición. El tratamiento numérico de los datos experimentales ha Sido efectuado teniendo en cuenta los problemas particulares que comporta la inversi6n de la integral de ABEL.

  • English

    We used holographic interferometry to investigate temperature fields in a cold —wall CVD reactor. Our main purpose in this paper is to improve the evaluation of axisymmetric interferograms. We describe the image processing device coupled to the interferometer in order to increase both measurement accuracy and acquisition speed. The numerical evaluation Of experimental data has been made taking into account the particular problems arised from the inversion of ABEL transform.