Different Modes of a Capacitively Coupled Radio-Frequency Discharge in Methane

• Autores: I. V. Schweigert
• Localización: Physical review letters, ISSN 0031-9007, Vol. 92, Nº. 15, 2004, pág. 155001
• Idioma: inglés
• Texto completo no disponible (Saber más ...)