Desarrollo de un reactor para la producción automatizada de películas delgadas de óxido de zinc por evaporación reactiva asistida por plasma, para ser usadas en la fabricación de celdas solares de área grande

• Julián Peña-Bermúdez ^[1] ; Gerardo Gordillo-Guzmán ^[1] ; Juan Piña-Jaramillo ^[1]
  1. [1] Universidad Nacional de Colombia

     Universidad Nacional de Colombia

     Colombia

     
• Localización: Ciencia transdisciplinar para el desarrollo y la supervivencia de la humanidad / Edgar Serna M. (ed. lit.), 2021, ISBN 9789585327849, págs. 40-51
• Idioma: español
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• Resumen

  • En este trabajo se presenta el desarrollo de un reactor automatizado para la producción de películas delgadas de óxido de zinc ZnO por el método de evaporación reactiva asistida por plasma ERAP, con propiedades para ser usadas en diferentes tipos de celdas solares, entre las que se encuentran: celdas orgánicas invertidas, celdas basadas en Cu(In,Ga)Se2 (CIGS), celdas basadas en compuestos con estructura kesterita y celdas solares hibridas basadas en compuestos con estructura perovskita. El método ERAP presenta mayores ventajas que el método de sputtering RF usado convencionalmente, principalmente en términos de costos de producción. El reactor incluye una fuente de evaporación de Zn tipo celda Knudsen implementada con un diseño avanzado para mejorar la homogeneidad en espesor de muestras de área grande y adicionalmente un sistema electrónico que permite controlar con precisión tanto los principales parámetros de deposición como el proceso de crecimiento de las películas de ZnO en forma automática. Se espera que el aporte de este trabajo contribuya al desarrollo de un reactor con facilidades para producir películas delgadas de ZnO de área grande que podrían ser usadas en la producción industrial de paneles solares basados en tecnología de película delgada.