A New Patterning Method Using Photocatalytic Lithography and Selective Atomic Layer Deposition

• Autores: Myung M. Sung, Jae P. Lee
• Localización: Journal of the American Chemical Society: JACS, ISSN 0002-7863, Vol. 126, Nº. 1, 2004, págs. 28-29
• Idioma: inglés
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