Development of Parametric Material, Energy, and Emission Inventories for Wafer Fabrication in the Semiconductor Industry

• Autores: David T. Allen, George A. Kenig, Jean-Philippe Latjrent, David E. Dyert, Cynthia F. Murphy
• Localización: Environmental science & technology, ISSN 0013-936X, Nº. 23, 2003, págs. 5373-5382
• Idioma: inglés
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