Evaluación del espesor de capas delgadas mediante análisis EDS y simulación de Monte Carlo

• García, J. C. ^[1] ; Peñalba, F.
  1. [1] INASMET-Tecnalia
• Localización: Revista de metalurgia, ISSN 0034-8570, Vol. 46, Nº. Extra 0, 2010, págs. 95-100
• Idioma: español
• Títulos paralelos:
  • Thin layer thickness evaluation by EDS analysis and Monte Carlo simulation
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• Resumen
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    En este trabajo se presenta un método de evaluación de espesores de capas delgadas mediante la técnica de energías dispersivas de rayos X (EDS). Las medidas analíticas de las áreas de los picos característicos de los elementos detectados en las capas, obtenidas mediante esta técnica, se complementan con simulaciones de Monte Carlo de las trayectorias de los electrones en el volumen de interacción. Esto, junto con las estimaciones de la intensidad de los picos característicos obtenidos mediante el algoritmo de Bethe, Joy & Luo, posibilita realizar la estimación de los espesores de las muestras analizadas.

  • English

    This work shows a method to evaluate the thin layer thickness by the X ray dispersive energy (EDS) technique. The analytical measures of the area of characteristic peaks carried out with this technique are complemented with electron trajectories on the interaction volume byMonte Carlo simulation. These together with the estimations obtained for the characteristic peaks intensities according to Bethe, Joy&Luo algorithm makes possible to estimate the thickness of samples.