Efectos de los plasmas de oxígeno-freón para la eliminación de resinas sobre silicio £ dióxido de silicio

• Enric Cabruja ^[1] ; Carles Cané ^[1] ; Manuel Lozano ^[1] ; C. Domínguez ^[1] ; E. Lora Tamayo ^[1] ; F. Serra Mestres ^[1]
  1. [1] Universidad Autónoma de Barcelona
• Localización: XXI Reunión bienal de la Real Sociedad española de Física: programa, Salamanca 4 al 10 de octubre, 1987 / Real Sociedad Española de Física (aut.), 1987, págs. 623-624
• Idioma: español
• Texto completo no disponible (Saber más ...)