Obtención de láminas delgadas de materiales piezoeléctricos

• Autores: E. Nieto, José Francisco Fernández Lozano, Pedro Durán Martín, Carlos Moure
• Localización: Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio, ISSN 0366-3175, Vol. 31, Nº. 4, 1992, págs. 355-361
• Idioma: español
• Títulos paralelos:
  • Preparation of thin films of piezoelectric materials
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• Resumen
  • español

    Se han preparado láminas delgadas de material pie-zoeléctrico tipo PZT(53:47) mediante el método de inmersión o dipcoating. Se ha utilizado un soporte cerámico policristalino de alúmina del 99 % de densidad teórica. Han sido utilizadas las disoluciones formadas a partir de los tetrabutóxidos de Zr^^ y Ti"*"^, 2-etilhexanoa-to de Pb^"^ y butanol como disolvente. Se han estudiado el espesor y la homogeniedad de las películas en función de la velocida d de la inmersión y de la concentración de las soluciones. Las velocidades de calentamiento y de secado influyen notablemente en el aspecto de las películas, como se ha puesto de manifíeesto por MEB y DRX. Las medidas reológicas y la espectrometría FTIR (espectroscopia infrarroja con transformada de Fourier) completan el estudio sobre las soluciones.

  • English

    PZT thin films were deposited by dip-coating on polycrystalline AI2O3 ceramic substrates. Zr'*"^ and Ti"*"^ tetrabutoxides and lead 2-ethylhexanoate disolved in butanol, were used as starting materials. Thickness and homogeneity of the films was characterizad as a function of dip-coating process rate and solution concetration. Drying and heating schedules determine the general structure of films as was studied by SEM and XRD. Finally, Rheology and FTIR studies were done on all disolution.