Transparent glass slab thickness measurement by binaryspot focus signal

• A. D. Aguilar ^[1] ; J. R. Torga ^[2]
  1. [1] Universidad Tecnológica Nacional

     Universidad Tecnológica Nacional

     Argentina

     
  2. [2] Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas

     Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas

     Argentina

     
• Localización: Óptica pura y aplicada, ISSN-e 2171-8814, Vol. 52, Nº. 4, 2019
• Idioma: inglés
• Títulos paralelos:
  • Medición de espesor de placas de vidrio por señal de error de foco de spot binario
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• Resumen
  • español

    Los sistemas de error de foco basados en el principio astigmático que utilizan detectores de cuatro cuadrantes como elemento generador de señal han sido usados ampliamente en una gran variedad de aplicaciones. Sin embargo, su principio de funcionamiento no es particularmente adecuado para medidas que involucran más de un spot. En este trabajo proponemos un nuevo método que usa un CCD como dispositivo de detección y un método de procesar los datos adquiridos. Un efecto secundario de este cambio es la pérdida del parámetro SEF, clave en estas técnicas. Para superar este problema se propone un nuevo parámetro que llamamos señal de foco. El proceso de medición de espesor de una muestra transparente con dos caras reflectoras usando esta técnica también es presentado.

  • English

    Focus error systems based on the astigmatic principle relying on four quadrant photo detectors as the signal generation element have widely been used in many different applications. Nevertheless, its working principle is not particularly suitable for measurements involving more than one spot. In this work we propose a new method that uses a CCD as the detection device as well as a method of processing acquired data. A side effect of this change is the loss of the FES parameter key to these techniques. To overcome this issue a new parameter named focus signal is proposed. The thickness measuring process of a transparent sample with two reflective layers using this technique is also presented.